[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202123254492.1 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN216649988U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 王凯杰;赵转转 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 钟连发 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的基底、设置于基底的一侧的基座和设置在基座上的电容系统，电容系统包括背板组件以及与背板组件相对且分别间隔设置在背板组件两侧的第一振膜和第二振膜，MEMS麦克风还包括具有装配空间且一侧固定连接于基座的内侧的悬臂结构，悬臂结构的未固定侧与基座的内侧形成间隔，背板组件包括子背板组件，第一振膜包括第一子振膜，第二振膜包括第二子振膜，子背板组件、第一子振膜和第二子振膜均固定连接于悬臂结构且位于悬臂结构的装配空间内的。第一子振膜和第二子振膜在基座上形成悬臂梁结构，实现增大第一振膜和第二振膜的顺性和降低张力，从而实现提升麦克风的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
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