[实用新型]一种高纯多晶硅硅芯连接结构有效

专利信息
申请号: 202123267143.3 申请日: 2021-12-23
公开(公告)号: CN216737604U 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 任长春;徐丽丽;王生红;鲍守珍;史正斌 申请(专利权)人: 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海亚洲硅业半导体有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司
主分类号: C01B33/035 分类号: C01B33/035
代理公司: 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 代理人: 张巨箭
地址: 810007 青海*** 国省代码: 青海;63
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摘要: 实用新型公开了一种高纯多晶硅硅芯连接结构,包括石墨底座、石墨帽、底装硅芯和上装硅芯,所述石墨底座上设置有石墨帽,所述石墨帽内贯穿安装所述底装硅芯,所述底装硅芯的上部设置有所述上装硅芯;所述底装硅芯的高度高于石墨帽的高度。相较于现有技术中采用石墨卡瓣作为连接件,该连接方式生产的多晶硅产品在近石墨卡瓣位置碳含量较高(俗称碳头料),此部分产品品质较低,本实用新型通过底装硅芯与石墨底座(在石墨帽的作用下)直接固定整个硅芯(包括上装硅芯),可减少碳头料,实现高纯多晶硅的生产。
搜索关键词: 一种 高纯 多晶 硅硅芯 连接 结构
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