[实用新型]一种用于光刻机净化车间的净化装置有效
| 申请号： | 202123271504.1 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN216901324U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 蒋传亚;姚梁;杨青;韩雍;谢华;王东升 | 申请（专利权）人： | 上海顺灏新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海湾谷知识产权代理事务所(普通合伙) 31289 | 代理人： | 肖进 |
| 地址： | 200331 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于光刻机净化车间的净化装置，连接光刻机，包括：无油空压机；设置在所述无油空压机后面的第一储气罐；设置在所述第一储气罐后面，用于干燥压缩空气的冷干机；设置在所述冷干机后面，用于去除压缩空气中水分的吸干机；设置在所述吸干机后面，用于对压缩空气进行热交换的热交换器；设置在所述热交换器后面，用于储存热交换后的压缩空气的第二储气罐；连通所述第二储气罐和光刻机二合一管路。本实用新型能够有效解决净化车间内不可见微粒、极小灰尘净化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光刻 净化 车间 装置 | ||
【主权项】：
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