[实用新型]一种可以同时顶起两张二分之一硅片的快插式顶齿机构

摘要

本实用新型属于工业非标设备领域，具体的说是一种可以同时顶起两张二分之一硅片的快插式顶齿机构，包括顶出固定板、安装孔、滑块安装槽和顶齿单元；所述顶出固定板上开设有滑块安装槽；所述顶出固定板上对应滑块安装槽开设有多个安装孔；所述顶出固定板上设有顶齿单元；所述顶齿单元包括对称固定槽、底座板和支撑架；所述顶出固定板上对称开设有对称固定槽；通过分隔轴使得每个硅片可以被限制在对应的空间内，然后在分隔轴之间的距离下，可以方便使用机械手进行抓取，同时对称的支撑架使得可以同时的顶出两片硅片，同时整体的装置轻便，方便通过丝杆螺母副进行精确的上下运动，从而可以配合机械手的上下料动作，实现高效率的上下硅片。