[实用新型]一种晶圆蒸发台行星架有效
| 申请号： | 202123311545.9 | 申请日： | 2021-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN216639637U | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 丁桃宝;张志华 | 申请（专利权）人： | 如东汇盛通半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 226400 江苏省南通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体加工领域，且公开了一种晶圆蒸发台行星架，该行星架可以通过盖板对空隙进行填充，且盖板可以上下滑动取下和安装，有效解决背景技术中提出的问题。包括上凸的圆形伞状结构的架体，架体上周向均匀设有若干容置槽，所述的容置槽靠近圆心的一侧分别固定设有对空隙填充且可上下滑动的封盖组件。所述的封盖组件包括立杆，立杆底部与架体固定连接，立杆上可上下滑动套置有套环，套环外侧与盖板内侧固定连接，盖板底面外侧边缘固定设有与空隙配合的填充块。它操作简单，使用方便，适用于多种规格的晶圆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸发 行星 | ||
【主权项】：
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