[实用新型]一种门阀装置有效
| 申请号： | 202123347347.8 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN216871892U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 冼伟材;刘伟;李伟界;戴成云 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;F16K51/00 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 唐超 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种门阀装置，门阀装置设置在TM传送腔室和干刻腔室之间，干刻腔室上设置有贯穿孔，门阀装置覆盖贯穿孔的孔口并且和孔口附近的腔壁连接，门阀装置包括密封板、密封件、外密封圈和内密封圈，密封板设置在干刻腔室的外侧，外密封圈设置在密封板和腔壁之间，内密封圈设置在外密封圈内侧，密封件包括一环形块，环形块设置在贯穿孔内并且环形块的外侧壁和贯穿孔的内侧壁紧密贴合，内密封圈设置在密封板和环形块之间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 门阀 装置 | ||
【主权项】：
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