[实用新型]一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装

摘要

本实用新型公开了一种贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，包括安装台，所述安装台上端的左侧活动安装有第一固定座，所述第一固定座上端的后侧固定设置有凹槽，所述凹槽的内部活动安装有丝杠，所述丝杠的外端螺纹安装有丝母，所述丝母的上端固定安装有第一夹具，所述第一固定座上端的前侧固定安装有第二夹具，所述第二夹具的后端固定安装有第一弹簧，所述第一夹具与第二夹具通过第一弹簧活动连接。该贵金属溅射靶材加工用夹紧工装，通过安装电动推杆及丝杠丝母，既可以对不同长度的靶材进行夹紧固定，也可以对不同宽度的靶材进行夹紧固定，并且通过安装微调机构，可以对第二固定座与第一固定座之间的间距进行微调，以让夹具与靶材之间更加紧密。