[实用新型]一种镀锅用晶圆固定组件有效
| 申请号： | 202123367775.7 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN216445455U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 李寒 | 申请（专利权）人： | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙) 51223 | 代理人： | 李晓 |
| 地址： | 610299 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种镀锅用晶圆固定组件，涉及蒸镀设备技术领域，主要用于解决现有的镀锅在安装晶圆时存在的缺陷。其主要结构为：包括弧形卡条，所述弧形卡条上设有两条竖直穿过弧形卡条与镀锅连接的定位卡销，所述弧形卡条上还设有手柄和供定位卡销穿过的引导弧形卡条向晶圆放置口轴心平移的导向镂空槽。本实用新型提供的一种镀锅用晶圆固定组件，通过该组件，能在防止晶圆掉落的同时避免压伤、划伤晶圆，且具有上下货方便、减少报废率及提高生产效率的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀锅用晶圆 固定 组件 | ||
【主权项】：
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