[实用新型]一种溅射镀膜机有效
| 申请号： | 202123390934.5 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN216550671U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 吴磊;郝力强;贾振;马中生 | 申请（专利权）人： | 苏州清越光电科技股份有限公司;义乌清越光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘海尧 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种溅射镀膜机，包括：镀膜腔体；靶材机台；靶材机台设置于镀膜腔体下部；溅射基板；溅射基板设置于镀膜腔体上部，与靶材机台相对；第一隔板；第一隔板水平设置；第二隔板；第二隔板水平设置；第一隔板和第二隔板共同形成靶材机台至溅射基板的曲折通道。本实用新型提供的溅射镀膜机，可有效降低溅射镀膜工艺中有机发光结构的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
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