[实用新型]一种半导体测试用高适用性的探针卡盘有效
| 申请号： | 202123391589.7 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN217305263U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 毛丹辉;朱腾飞 | 申请（专利权）人： | 江苏艾科半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 邱兴天 |
| 地址： | 212000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体测试用高适用性的探针卡盘，包括卡盘、方槽、圆槽、嵌槽和夹紧装置，所述卡盘正中间设置有圆槽，且卡盘上设置有方槽，所述圆槽和方槽相重合，所述圆槽的两侧壁上均匀设置有嵌槽，所述嵌槽内部设置有夹紧装置，且夹紧装置与卡盘固定连接。该半导体测试用高适用性的探针卡盘设置有同时设置有方槽和圆槽，可以同一个卡盘放置两种不同性装置的探针卡，大大提高卡盘的适用性，操作起来省时省力，快捷方便，而且有利于提高工作效率，同时卡盘内设置有夹紧装置，能够夹紧放置在圆槽或者方槽内的探针卡，提高稳定性，方便测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 测试 适用性 探针 卡盘 | ||
【主权项】：
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