[实用新型]一种MEMS微镜扫描角度测试装置有效
| 申请号： | 202123423982.X | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN216448825U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 李晨;陈帅 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01M11/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的一种MEMS微镜扫描角度测试装置，包括红光激光器、孔径光阑、MEMS微镜和用于成像的屏幕；红光激光器产生的光束依次经过孔径光阑小孔、MEMS微镜后显示于用于成像的屏幕上，用于成像的屏幕选用网格型坐标纸，成本低，且方便数据读取；通过外加激励信号来驱动MEMS微镜进行反射扫描运动，经反射扫描的光束在成像屏幕上形成光斑轨迹，再改变外加激励信号，并记录其对应的响应数据。本实用新型能测试出在不同驱动信号激励下MEMS微镜的扫描角度，解决现有的技术中，MEMS微镜的测试装置较为繁琐，成像光斑直径过大，测量角度的准确性较低的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 扫描 角度 测试 装置 | ||
【主权项】：
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