[实用新型]一种用于真空环境下的光学平台减震装置有效
| 申请号： | 202123432243.7 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN217111408U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 潘海波 | 申请（专利权）人： | 热测测试技术（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00;F16F15/023 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 王华 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于真空环境下的光学平台减震装置，包括光学平台和空气弹簧减震机构，光学平台设置在真空箱体内部，空气弹簧减震机构设置在真空箱体的外部；光学平台的底部设置有固定支架，真空箱体的底部开设有通孔，固定支架的底部穿过通孔与空气弹簧减震机构连接，真空箱体开设的通孔部位设置有第一真空法兰，空气弹簧减震机构上设置有第二真空法兰，第一真空法兰与第二真空法兰之间通过真空波纹管连接，本方案设计的一种用于真空环境下的光学平台减震装置，采用真空法兰加波纹管的连接方式，使光学平台处于真空环境下，而空气弹簧减震机构处于非真空环境下，解决了空气弹簧减震器不能直接使用于真空环境仓内的技术难点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 环境 光学 平台 减震 装置 | ||
【主权项】：
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