[实用新型]一种晶片的烘烤装置有效
| 申请号： | 202123439273.0 | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN216448564U | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 欧阳华;欧阳晟;曹锋;陈炀;方宏森 | 申请（专利权）人： | 广州晶优电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/18 | 分类号： | F26B15/18;F26B23/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙) 44446 | 代理人： | 郑永泉 |
| 地址： | 510663 广东省广州市高*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及石英晶片生产设备技术领域，更具体地，涉及一种晶片的烘烤装置，包括加热装置、传输辊、基座平台和传输带，所述传输辊设置在基座平台的两侧，所述传输带设置在传输辊上，所述加热装置设置在基座平台上；还包括收纳盘支架，所述收纳盘支架用于放置收纳盘，所述传输带上设有网状孔，所述收纳盘支架通过网状孔与所述传输带形成活动连接。在保证烘烤质量的同时，提高烘烤的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
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