[发明专利]镀覆装置以及镀覆装置的接触部件清洗方法在审
| 申请号： | 202180005685.7 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114555870A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 关正也;富田正辉;张绍华 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D17/02;C25D17/10;C25D21/00;C25D21/08 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 胡乃锐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及镀覆装置以及镀覆装置的接触部件清洗方法。本发明提供一种能够通过简单的构造来清洗接触部件的技术。镀覆装置(1000)具备镀覆槽、基板保持件(20)、旋转机构、升降机构、接触部件(40)、以及清洗接触部件(40)的清洗装置(50)，清洗装置(50)具有回转轴(51)、第一臂(53)、第二臂(54)、以及具有至少一个喷出口的喷嘴(55)，上述清洗装置(50)构成为通过从喷出口喷出的清洗流体碰触接触部件(40)来清洗接触部件(40)。 | ||
| 搜索关键词： | 镀覆 装置 以及 接触 部件 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社荏原制作所，未经株式会社荏原制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202180005685.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：陶瓷基座
- 下一篇：主机模组和包含该主机模组的辅具
