[发明专利]判定装置、试验系统、判定方法及判定程序在审
申请号: | 202180007757.1 | 申请日: | 2021-01-14 |
公开(公告)号: | CN114902058A | 公开(公告)日: | 2022-08-12 |
发明(设计)人: | 池田皓甫;杉村一 | 申请(专利权)人: | 爱德万测试株式会社 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;H01L21/66;G01R31/26 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀锋 |
地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种判定装置,其具备:结果获取部,其获取对被测定器件进行的复数个项目的试验的试验结果;及,第1判定部,其判定是否对试验失败的被测定器件进行重新试验;并且,第1判定部,基于预先对复数个被测定器件进行复数次试验时的试验结果的再现性来进行判定。 | ||
搜索关键词: | 判定 装置 试验 系统 方法 程序 | ||
【主权项】:
暂无信息
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