[发明专利]用于曝光浮雕前体的设备和方法在审
申请号: | 202180010729.5 | 申请日: | 2021-01-18 |
公开(公告)号: | CN115004112A | 公开(公告)日: | 2022-09-02 |
发明(设计)人: | 德克·卢多·朱利安·德·劳;皮尔特·蓝森斯;弗雷德里克·德弗 | 申请(专利权)人: | 阿合斯印前有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 关志琨 |
地址: | 比利时*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开了一种用于曝光浮雕前体(P)的设备,该浮雕前体(P)包括基板层和至少一个光敏层,所述设备包括:第一光源(1),其被配置成照射浮雕前体的第一侧;可移动的第二光源(2),其被配置成照射浮雕前体的与第一侧相对的第二侧;可移动屏蔽件(3),其位于第一光源与第二光源(2)之间,并且被配置成捕捉第二光源的透过浮雕前体(P)的光的至少一部分;以及移动装置,其被配置成使可移动屏蔽件与第二光源同时移动。 | ||
搜索关键词: | 用于 曝光 浮雕 设备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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