[发明专利]用于多电子束系统的微像差补偿器阵列有效
| 申请号： | 202180012116.5 | 申请日： | 2021-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN115053318B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | 姜辛容;C·西尔斯 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/153 | 分类号： | H01J37/153;H01J37/06;H01J37/10;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种系统。在实施例中，所述系统包含电子源及微透镜阵列(MLA)，所述MLA经配置以接收来自所述电子源的一或多个一次电子束且将所述一或多个一次电子束分割成多个一次细电子束。在实施例中，所述系统进一步包含微像差补偿器阵列(MSA)，其包含多个十二极静电像差补偿器，其中所述MSA经配置以消除所述多个一次细电子束的四阶聚焦像差或六阶聚焦像差中的至少一者。在实施例中，所述系统进一步包含投影光学器件，其经配置以接收所述多个一次细电子束且将所述多个一次细电子束聚焦到样本的表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 电子束 系统 微像差 补偿 阵列 | ||
【主权项】：
暂无信息
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