[发明专利]具有改进的微致动器灵敏度和微致动器配置的悬架设计在审
| 申请号： | 202180012277.4 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN115066725A | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 余坤祺 | 申请（专利权）人： | 马格内康普公司 |
| 主分类号： | G11B5/48 | 分类号： | G11B5/48;G11B5/55;H01L41/083 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种具有固定端和铰接端的压电(PZT)致动器组件。该组件包括位于铰接端的第一侧电极和位于固定端的第二侧电极。该组件包括第三压电层，该第三压电层包括顶面和被设置在第二PZT层的顶面上的底面。第四电极被至少部分地设置在第三PZT层的顶面上。第四电极在固定端处被连接到第二侧电极。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 微致动器 灵敏度 配置 悬架 设计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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