[发明专利]半导体存储装置在审

专利信息
申请号: 202180013655.0 申请日: 2021-02-03
公开(公告)号: CN115066752A 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 广濑雅庸;村濑泰规 申请(专利权)人: 株式会社索思未来
主分类号: H01L27/11 分类号: H01L27/11;H01L21/82;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;H01L21/8244;H01L29/41;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/786
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 柯瑞京
地址: 日本神*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 纳米片(21~23)沿X方向按照纳米片(21~23)的顺序排列而成。纳米片(24~26)沿X方向按照纳米片(24~26)的顺序排列而成。在埋入式布线层中,在俯视时在纳米片(22)与纳米片(25)之间形成有电源布线(11)。纳米片(22)的X方向上的一侧即第一侧的面从栅极布线(32)露出。纳米片(25)的X方向上的另一侧即第二侧的面从栅极布线(35)露出。
搜索关键词: 半导体 存储 装置
【主权项】:
暂无信息
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