[发明专利]感光性元件及抗蚀图案的形成方法在审
| 申请号： | 202180025576.1 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN115398337A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 加持义贵 | 申请（专利权）人： | 旭化成株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/09;H05K3/00;H05K3/06 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供兼顾分辨率的改善和卷取时皱折的防止的感光性元件、和抗蚀图案的形成方法。一种感光性元件，其特征在于，其依次具有支承膜(A)、感光性树脂组合物层(B)和保护膜(C)，JIS B0601‑2001中规定的、支承膜(A)的与感光性树脂组合物层(B)接触侧的表面的表面粗糙度Rz |
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| 搜索关键词： | 感光性 元件 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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