[发明专利]用于计量测量的在线导航偏移校正在审
| 申请号： | 202180025970.5 | 申请日： | 2021-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN115398478A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | S·艾林 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/70 | 分类号： | G06T7/70;G06V10/24 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 可配置经安置于样品上的第一目标的第一建模目标位置处的视场，这可包含使载物台相对于检测器移动。通过加总第一设计目标位置与由在线模型提供的导航误差来确定所述第一建模目标位置。使用所述检测器来抓取所述视场的第一图像。配置经安置于所述样品上的第二目标的第二建模目标位置处的所述视场。与配置所述第二建模目标位置处的所述视场并行地，使用处理器，使用所述第一图像来确定第一实际目标位置的位置。用所述第一设计目标位置与所述第一实际目标位置之间的差来更新所述在线模型。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 计量 测量 在线 导航 偏移 校正 | ||
【主权项】：
暂无信息
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