[发明专利]在相邻特征之间形成导电管的方法及在相邻特征之间具有导电管的集成组合件在审
| 申请号： | 202180029468.1 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN115516627A | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | A·纳亚兹·诺埃蒙;S·W·鲁塞尔;T·D·阮;S·萨卡尔 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | H01L23/528 | 分类号： | H01L23/528;H01L21/8238;H01L27/02;H01L27/092;H01L23/532 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 王龙 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一些实施例包含一种集成组合件，其具有通过介入空间彼此隔开的一对大致上平行特征。导电管在所述特征之间且大致上平行于所述特征。所述导电管可形成于管路内。所述管路可通过以如下方式在所述特征之间沉积绝缘材料而产生：夹断所述绝缘材料的顶部区，以使所述管路作为所述经夹断顶部区下方的空隙区。 | ||
| 搜索关键词： | 相邻 特征 之间 形成 导电 方法 具有 集成 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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