[发明专利]差动排气装置及聚焦能量束装置在审
| 申请号： | 202180029913.4 | 申请日： | 2021-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN115461833A | 公开（公告）日： | 2022-12-09 |
| 发明（设计）人： | 水村通伸;新井敏成;松本隆德;竹下琢郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社V技术 |
| 主分类号： | H01J37/18 | 分类号： | H01J37/18;H01J37/16;H01J37/28;H01J37/305;H01J37/317;G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;洪秀川 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 差动排气装置将处理用空间设为高真空度，其中，所述差动排气装置具备：位移驱动部，其能够使头部或被处理基板进行位移来调整被处理面与所述头部的对置面的平行度及距离；间隙测定部，其沿着所述头部的所述对置面的周缘分别配置在至少三个部位以上，能够检测所述对置面与所述被处理面之间的距离；以及间隙控制部，其基于所述间隙测定部检测出的所述对置面与所述被处理面之间的距离信息来控制所述位移驱动部，以使得所述对置面与所述被处理面隔开规定的距离而成为平行。 | ||
| 搜索关键词： | 差动 排气装置 聚焦 能量 束装 | ||
【主权项】：
暂无信息
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