[发明专利]压印设备在审
| 申请号： | 202180032431.4 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN115552333A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | T·J·默克尔;王睿博;D·赖特;D·元·陈;A·艾亚尔;T·贡芝;N·布拉马;A·皮泰拉 | 申请（专利权）人： | 因美纳有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 郭广迅 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种压印设备，其包括硅母版和涂覆硅母版的防粘层。硅母版包括以小于约425nm的平均间距设置的多个特征，所述多个特征中的每一个都包括具有开口的凹陷部，其中其最大的开口尺寸小于约300nm。所述防粘层包含交联的硅烷聚合物网络。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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