[发明专利]真空泵在审
| 申请号： | 202180038485.1 | 申请日： | 2021-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN115552126A | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 桦泽刚志 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张泽洲;吴强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空泵，其能够在不进行翻修的情况下除去堆积物，进而能够检测堆积物的除去已完成。本发明具备清洁功能部和堆积传感器(206)，前述清洁功能部用于清洁真空泵(100)内的堆积物的清洁功能，前述堆积传感器(206)用于检测堆积物的堆积检测功能。进而，具备用于判定清洁的完成的清洁完成判定功能的读取回路部(207)、清洁完成判定回路部(208)，基于堆积传感器(206)的检测结果，清洁完成判定回路部(208)输出表示清洁的完成的清洁完成信号。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 | ||
【主权项】：
暂无信息
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