[发明专利]用于腔室排气清洁的清洁单元在审
| 申请号： | 202180039930.6 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN115699246A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 凯尔文·陈;菲利普·艾伦·克劳斯;蔡泰正;哈恩·阮;阿纳塔·苏比玛尼 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文揭露的实施例包括一种用于腔室的排气管线的清洁模块。在一实施例中，移动清洁模块包括：腔室，其中所述腔室包括第一开口及第二开口。在一实施例中，清洁模块进一步包括盖，所述盖密封所述第一开口。在一实施例中，所述盖包括：介电板；介质谐振器，所述介质谐振器耦接至所述介电板；单极天线，所述单极天线安置于进入所述介质谐振器中的孔中；及导电层，所述导电层环绕所述介质谐振器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 排气 清洁 单元 | ||
【主权项】：
暂无信息
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