[发明专利]加压用吸附台和具备该加压用吸附台的加压装置

摘要

本发明提供加压用吸附台和具备该加压用吸附台的加压装置。加压用吸附台(1)包括：多孔体(2)，具有能承载对象物(O)的吸附面(20)；弹性构件(3)，直接设置于多孔体(2)；以及框体(5)，通过弹性构件(3)支承多孔体(2)。在多孔体(2)与框体(5)之间形成有吸引空间(4)。加压用吸附台(1)具备吸引器(6)，吸引器(6)通过对吸引空间(4)进行吸引，从而能将对象物(O)吸附于吸附面(20)。多孔体(2)具有位于吸附面(20)的相反侧的相反面(21)。框体(5)具有承接面(51)，在由于对承载于吸附面(20)的对象物(O)朝向吸附面(20)的加压而使弹性构件(3)弹性变形时，承接面(51)承接相反面(21)。加压用吸附台(1)构成为在相反面(21)被承接面(51)承接时，从多孔体(2)朝向被加压的对象物(O)均匀地产生反作用力。