[发明专利]用于真空歧管的被动阀在审
| 申请号： | 202180044901.9 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN115916485A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | B·N·戴利;R·J·安德森 | 申请（专利权）人： | 克里奥瓦克公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张珺;吴强 |
| 地址： | 美国北卡*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种阀可在真空室和端口之间位于真空歧管中。该阀包括移动构件，该移动构件具有相对的第一端和第二端，并且可在关闭位置与打开位置之间移动。通道在第一端与第二端之间延伸通过移动构件。排放孔口在通道与移动构件的侧部之间延伸通过移动构件。在关闭位置中，移动构件的第一端与真空室接触。当在真空室中抽真空并且物体接合端口时，排放孔口允许气体至此，使得移动构件的第二端上的压力降低以克服偏压机构的力，并且引起移动构件被动地从关闭位置移动到打开位置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 歧管 被动 | ||
【主权项】：
暂无信息
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