[发明专利]真空排气系统的清洗装置在审
| 申请号： | 202180045029.X | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN115917147A | 公开（公告）日： | 2023-04-04 |
| 发明（设计）人： | 桦泽刚志 | 申请（专利权）人： | 埃地沃兹日本有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/16 | 分类号： | F04B37/16;F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李婷;吴强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种能够防止在真空泵的下游处堆积物再附着的真空排气系统的清洗装置。具备：能够冷却含有升华成分的气体而令堆积物产生的冷却阱（13）；配设在冷却阱（13）的上游的至少一个的第一真空泵（11）；连接第一真空泵（11）和冷却阱（13）的至少一个的第一配管（21）；配设在冷却阱（13）的下游的至少一个的第二真空泵（16）；连接第二真空泵（16）和冷却阱（13）的至少一个的第二配管（22），将第一真空泵（11）和第一配管（21）的至少一部分加热到升华成分的升华温度以上，并且将冷却阱（13）冷却到升华成分的升华温度以下。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 排气 系统 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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