[发明专利]模块化前级管道系统在审
| 申请号： | 202180049913.0 | 申请日： | 2021-07-22 |
| 公开（公告）号： | CN115956161A | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | C·M·贝利;M·A·加尔特里 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/18 | 分类号： | F04B37/18 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘茜;吴强 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于形成前级管道(112)的零件套件，该前级管道用于将处理腔室(108)联接到真空泵送和/或减排系统(110)，该套件包括：多个前级管道段(122、124)；其中，每个前级管道段(122、124)是包括以下各者的管子：基本上笔直的第一端部分(122a、124a)；基本上笔直的第二端部分(122b、124b)，其与第一端部分(122a、124a)相对；以及中间部分(122c、124c)，其设置在第一和第二端部分(122a‑b、124a‑b)之间并且通过相应的弯头(122d‑e、124d‑e)连接到第一和第二端部分(122a‑b、124a‑b)，第一和第二端部分(122a‑b、124a‑b)基本上彼此平行；中间部分(122c、124c)相对于第一和第二端部分(122a‑b、124a‑b)倾斜；并且前级管道段(122、124)被构造成附接在一起以便形成连续的前级管道(112)。 | ||
| 搜索关键词： | 模块化 管道 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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