[发明专利]具有冷却能力的固态功率放大器在审
| 申请号： | 202180052296.X | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115989718A | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | R·K·普蒂;V·拉马钱德兰;A·朱普迪;L·W·高 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H05B6/68 | 分类号： | H05B6/68 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 用于处理基板的方法和设备。例如，处理腔室可包括：功率源；放大器，所述放大器连接至功率源，所述放大器包括氮化镓(GaN)晶体管或砷化镓(GaAs)晶体管中的至少一者，并且所述放大器被配置成放大从功率源接收的输入信号的功率水平以加热处理容积中的基板；以及冷却板，所述冷却板被配置成接收冷却剂以在操作期间冷却放大器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 冷却 能力 固态 功率放大器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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