[发明专利]坚固的流体耦合装置在审
| 申请号： | 202180059154.6 | 申请日： | 2021-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN116157607A | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | B·A·萨姆斯;D·U·H·特雷斯;V·G·特尔卡;A·I·厄肖夫;T·W·德赖森;S·金卡尔 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/06 | 分类号： | F16J15/06 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 张宁;杨飞 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种目标材料供应装置，包括：第一流体流动部件和第二流体流动部件(1122，1126)，它们当联结在一起时限定轴向流动路径，其中轴向流动路径在目标材料流体的源和喷嘴供应装置之间；以及耦合装置，其被配置为密封在第一流体流动部件和第二流体流动部件之间的接头。耦合装置包括具有限定内开口的环形形状的垫圈(1105)，当被安置和密封时该内开口是轴向流动路径的一部分。当垫圈被安置在第一流体流动部件和第二流体流动部件之间从而密封通过附接第一流体流动部件和第二流体流动部件而形成的接头时，从沿着轴向流动路径穿过垫圈内开口的目标材料流体施加到垫圈的压力改善了接头处的密封的气密功能。可选地，功能插入件，例如限流件(1160)能够被安置在垫圈中。 | ||
| 搜索关键词： | 坚固 流体 耦合 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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