[发明专利]缺陷检查装置在审
| 申请号： | 202180063141.6 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN116490767A | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 三品尚登;冈本弘文;田中隆志;杉本贤;早川昌志;畠堀贵秀;堀川浩司 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的缺陷检查装置(100)包括：拍摄部(影像传感器(35))，拍摄检查对象(7)；以及显示部(6)，显示基于由拍摄部所拍摄的图像的图像。而且，缺陷检查装置(100)包括控制部(4)，所述控制部(4)受理对显示于显示部(6)的图像(静态图像(61))上的规定的关注区域(S)的标记(64)的设定。并且，控制部(4)构成为，基于由拍摄部所拍摄的图像来检查检查对象(7)的缺陷，并且使标记(64)的图像重叠于显示于显示部(6)的检查结果图像(叠加图像(65))的与规定的关注区域(S)对应的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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