[发明专利]研磨垫、及研磨加工物的制造方法在审
申请号: | 202180065924.8 | 申请日: | 2021-09-27 |
公开(公告)号: | CN116348245A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 立野哲平;松冈立马;栗原浩;鸣岛早月;高见泽大和 | 申请(专利权)人: | 富士纺控股株式会社 |
主分类号: | B24B37/22 | 分类号: | B24B37/22 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明涉及具备研磨层和缓冲层的研磨垫,在干燥状态、频率10rad/s、20~100℃的弯曲模式条件下进行的动态粘弹性测定的40℃时的储能模量E’ |
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搜索关键词: | 研磨 加工 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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