[发明专利]检查方法在审
| 申请号： | 202180066971.4 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN116420101A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 小林信次;松田俊介;森里惠 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王中苇 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是对具备层叠偏振膜(11)和相位差膜(14)而成的圆偏振板(1)、以及层叠在圆偏振板(1)的相位差膜(14)侧且由聚对苯二甲酸乙二醇酯系树脂构成的剥离膜(16a)的膜状的被检查物(10)有无缺陷进行判断的检查方法。配置光源(4)、透过规定的波长的光的带通滤光片(2)、第一偏振部(3A)、被检查物(10)以及第二偏振部(3B)，以使剥离膜(16a)所具有的相位差的影响变小的方式使光向被检查物(10)的入射角θ发生变化。从第二偏振部(3B)侧对被被检查物(10)反射的光进行观察，从而判断圆偏振板(1)有无缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 方法 | ||
【主权项】：
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