[发明专利]量测方法和相关联的设备在审
| 申请号： | 202180080452.3 | 申请日： | 2021-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN116569111A | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | T·D·戴维斯;S·G·J·马西森;K·巴塔查里亚;塞巴斯蒂安努斯·阿德里安努斯·古德恩;A·E·A·科伦;钱世罗;林硕群 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 毕杨 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 披露了一种量测方法。所述方法包括：测量与对量测信号的周围信号贡献相关的至少一个周围可观察参数，所述周围信号贡献包括不可归因于被测量的至少一个目标的对所述量测信号的贡献；以及根据所述周围信号可观察参数来确定校正。所述校正用于校正与使用测量辐射进行的对一个或更多个目标的测量相关的第一测量数据，所述测量辐射在所述一个或更多个目标中的一个或更多个上形成大于所述目标中的一个目标的测量光斑。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 相关 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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