[发明专利]微机电感测装置及其感测模块在审
| 申请号： | 202210004662.0 | 申请日： | 2022-01-05 |
| 公开（公告）号： | CN116413314A | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 郭佩棋;李柏勋;陈明发 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王锐 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电感测装置及其感测模块，其中该微机电感测装置包含基底、加热器以及感测电极。加热器设置于基底上，且加热器具有加热工作部分。感测电极具有感测工作部分。加热器和感测电极沿堆叠方向设置于不同层，且感测电极与加热器电性绝缘。在堆叠方向的参考面上，加热器的加热工作部分的投影覆盖感测电极的感测工作部分的投影。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 电感 装置 及其 模块 | ||
【主权项】：
暂无信息
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