[发明专利]一种微波等离子体控制系统和方法在审
| 申请号： | 202210005959.9 | 申请日： | 2022-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN114334596A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 何磊;李俊宏;李家瑞;韦明勉;邱银娟;李东亚 | 申请（专利权）人： | 成都沃特塞恩电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人： | 孔鹏 |
| 地址： | 610041 四川省成都市高*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明实施例提出一种微波等离子体控制系统和方法，包括均与主控装置通信连接的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置；主控装置用于根据目标参数和采集的气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置的工作数据，向气路控制装置、真空压力控制装置和水路控制装置分别发送对应的控制指令；气路控制装置用于根据控制指令控制气体开关和气体流量控制，并根据其工作状态实时调整气体流量配比；真空压力控制装置用于根据控制指令控制腔内真空状态、样品台位置、墙板位置和腔盖开关；水路控制装置用于根据控制指令控制样品台温度和水流量。其能够保证籽晶表面均匀沉积，并提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微波 等离子体 控制系统 方法 | ||
【主权项】：
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