[发明专利]感光树脂组合物、感光树脂组合物薄膜以及图案化的固化物在审
| 申请号： | 202210008077.8 | 申请日： | 2022-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN114326306A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 王元强;周小明;肖桂林;鲁丽平;朱双全 | 申请（专利权）人： | 武汉柔显科技股份有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;H01L23/29;H01L51/52 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430057 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： |
本发明提供一种感光树脂组合物，包含聚酰亚胺或聚酰亚胺前体树脂A、添加剂B、分子内具有2个以上环氧基团的化合物C以及重氮萘醌磺酸酯E，其中，所述添加剂B为结构式(1)所示的分子内同时包含有羟基和羧基或同时包含有羟基和酯基的化合物；本发明中所涉及的感光树脂组合物在显影过程中膜厚损失小，低曝光量即可获得精细图像，且所述感光树脂组合物经过热处理固化后的固化膜表现出较强的耐热性与耐化学药品性。 |
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| 搜索关键词： | 感光 树脂 组合 薄膜 以及 图案 固化 | ||
【主权项】：
暂无信息
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