[发明专利]一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法在审
| 申请号： | 202210012816.0 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114381736A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 邹凯然;潘丽;曹广盛 | 申请（专利权）人： | 安捷利（番禺）电子实业有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/26 | 分类号： | C23F1/26;C23F11/14 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 初春 |
| 地址： | 511458 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种钛铜合金蚀刻液及蚀刻方法，蚀刻液包括：无机酸、铜盐和缓蚀剂。无机酸用于提供酸性环境的氢离子，酸性环境有利于激发铜盐中铜离子的氧化性，使其与钛铜合金发生反应，实现对钛铜合金的蚀刻。铜盐溶解后，铜离子在酸性环境中具有强氧化性，可与钛铜合金发生反应，实现对钛铜合金的蚀刻。通过在蚀刻液中添加缓蚀剂，缓蚀剂能够溶解在蚀刻液中，且与钛铜合金具有较好的亲和力，缓蚀剂在蚀刻过程中可以附着在钛铜合金的侧壁，减少侧壁与蚀刻液的接触，进而减少侧蚀，提高蚀刻精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 铜合金 蚀刻 方法 | ||
【主权项】：
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