[发明专利]光罩夹取装置在审
| 申请号： | 202210015380.0 | 申请日： | 2022-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN114313972A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 李杰;丁高生;葛林新;李守印;张子阳 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/90 | 分类号： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 上海十蕙一兰知识产权代理有限公司 31331 | 代理人： | 刘秋兰 |
| 地址： | 201405*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光罩夹取装置，包括：设有两个垂直对称设置夹臂的活动夹持机构、分别与两个所述夹臂相连接的夹臂控制机构，及与所述夹臂控制机构相连接的升降机构。采用本发明的光罩夹取装置可有效提高生产效率，并保障人员的安全性，并且无须扩大器皿的厚度，避免需要采用更多清洗剂来对光罩进行浸泡，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩夹取 装置 | ||
【主权项】：
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