[发明专利]半导体结构的检测方法、装置、半导体结构及存储器在审
| 申请号： | 202210021979.5 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN114388477A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 周婷婷 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 李莎 |
| 地址： | 430205 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种半导体结构的检测方法、装置、半导体结构及存储器。所述半导体结构包括目标晶体管的第一测试结构和第二测试结构；所述方法包括：检测所述第一测试结构中第一阱区与第一栅极结构之间的第一电容；检测所述第二测试结构中第二阱区与第二栅极结构之间的第二电容；根据所述第一电容和所述第二电容，计算所述目标晶体管的总寄生电容。本发明实施例能够提高目标晶体管的寄生电容的检测准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 结构 检测 方法 装置 存储器 | ||
【主权项】：
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