[发明专利]再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法有效
| 申请号： | 202210031877.1 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN114405918B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 刘晓刚;黄来国;刘超;李仁杰;蔡广云;方斌 | 申请（专利权）人： | 合肥微睿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B24B23/02;B24B55/02;C23C16/50;C23C16/54;H01J37/32 |
| 代理公司： | 安徽知问律师事务所 34134 | 代理人： | 王亚军 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请涉及再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法，该方法包括以下连续步骤：（a）用软质擦拭物对所述衬里的表面进行湿式研磨；（b）任选地，在40‑60℃下，用中性脱脂剂清洗所述衬里的表面；（c）任选地，在40‑60℃下，用浓度为0.05重量%‑5重量%的柠檬酸溶液清洗所述衬里的表面；和（d）干燥所述衬里的表面。本申请能够实现简化蚀刻机或PECVD设备的衬里的再生工艺、提高其再生次数并有效降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 再生 蚀刻 pecvd 设备 衬里 方法 | ||
【主权项】：
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