[发明专利]一种电沉积硅薄膜的方法在审
| 申请号： | 202210050151.2 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN114318456A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 董飘平;蒋航宇;王璐;赵尹;刘宇豪 | 申请（专利权）人： | 桐乡市思远环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D9/08 | 分类号： | C25D9/08 |
| 代理公司： | 北京圣州专利代理事务所(普通合伙) 11818 | 代理人： | 李春 |
| 地址： | 314500 浙江省嘉兴市桐乡*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电沉积硅薄膜的方法，包括以下步骤：a)将离子液体干燥除水，b)将所述无水离子液体在所述真空手套箱中与硅盐搅拌混合，得混合溶液；c)处理电极，d)将所述混合溶液通入到电池槽中电沉积，电沉积完成后将阴极板取出清洗得到硅薄膜。本发明采用上述结构的一种电沉积硅薄膜的方法，不仅能够解决四氯化硅污染环境、增加企业生产成本的问题，而且还能够解决传统方法电沉积硅薄膜所需温度高、能耗高、产品质量差的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 沉积 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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