[发明专利]一种芯片自动移盘装置及其移盘方法在审
申请号: | 202210050539.2 | 申请日: | 2022-01-17 |
公开(公告)号: | CN114538107A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 詹登星;李建华;刘永兴;蔡文文;黄杰业 | 申请(专利权)人: | 东莞市安动半导体科技有限公司 |
主分类号: | B65G49/07 | 分类号: | B65G49/07 |
代理公司: | 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 44504 | 代理人: | 陈双喜 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种芯片自动移盘装置及其移盘方法,包括工作台,所述工作台的前部固装有工控机主体,所述工作台的上部后方固装有X轴主体,所述X轴主体的前部两侧分别设有Z1轴组件和Z2轴组件,所述工作台的上部一侧固装有Y1轴驱动组件,所述Y1轴驱动组件的上部设置有一号载盘托架,所述工作台的上部另一侧固装有Y2轴驱动组件,所述Y2轴驱动组件的上部设置有二号载盘托架,所述工作台的上部固装有一号下CCD定位系统和二号下CCD定位系统。本发明可在CCD定位系统定位下通过Z1轴组件和Z2轴组件自动定位移盘,结构设计减少工序移动路径,有利于提高摆放的准确性,且能够提高加工效率,同时设备结构设计合理,结构紧凑。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 自动 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
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