[发明专利]一种支撑Pin损伤检测方法、装置、设备及介质在审
| 申请号： | 202210053836.2 | 申请日： | 2022-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN114414591A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 陈成;李嘉翔;方冠杰 | 申请（专利权）人： | 浙江泰嘉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 313000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种支撑梢Pin损伤检测方法、装置、设备及介质，应用于芯片测量技术领域，用以解决现有技术中测量支撑Pin高度时，移动镜头测距导致的应用范围小、检测精度低的问题。具体为：确定接收部件接收到的由发送部件发送经过支撑Pin反射的光线与接收部件的基准点之间的水平偏移量，并基于水平偏移量、预设值以及几何关系，确定发送部件的基准点与接收部件的基准点的连线与支撑Pin的垂直距离，基于发送部件的基准点与接收部件的基准点的连线与支撑Pin的垂直距离判断支撑Pin是否发生损伤。这样，通过本申请支撑Pin损伤检测的方法，无需依赖移动镜头即可实现测量支撑Pin高度，并完成对支撑Pin损伤检测，应用范围广，检测精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 pin 损伤 检测 方法 装置 设备 介质 | ||
【主权项】：
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