[发明专利]一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法有效
| 申请号： | 202210076630.1 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114481331B | 公开（公告）日： | 2023-06-13 |
| 发明（设计）人： | 陈天令;曹其伟;谢耀辉;曾玉婷;杨加俊;张鹏 | 申请（专利权）人： | 江西中弘晶能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 黄晓滨 |
| 地址： | 344000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善滚轮带液刻蚀过刻的方法，涉及硅片刻蚀领域，包括加装平板、安装感应器、调节涂液组件、感应器报警和硅片刻蚀，且涂液组件包括有开设于平板顶部的多个滑槽，滑槽的内部设置有滑块，滑块的顶部固定有涂液海绵。本发明通过设置有涂液组件，当将硅片放置于滚轮上后，使用者通过移动涂液海绵，涂液海绵移动会带动滑块在滑槽内部滑动，当涂液海绵与硅片的两侧相接触后，使用者将固定螺栓旋入至螺栓孔内部，以对滑块进行固定，防止滑块随意带动涂液海绵移动，而涂液海绵吸附溶液后，由于硅片移动时涂液海绵会将溶液涂至硅片的两侧，防止硅片两侧未被溶液刻蚀便被取走。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 轮带 刻蚀 方法 | ||
【主权项】：
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