[发明专利]一种蚀刻线滚轮、蚀刻传送线及蚀刻装置在审
| 申请号： | 202210077933.5 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114411150A | 公开（公告）日： | 2022-04-29 |
| 发明（设计）人： | 吴建;钱超;杨柯 | 申请（专利权）人： | 常州高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/02 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董成 |
| 地址： | 213311 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出的一种蚀刻线滚轮、蚀刻传送线及蚀刻装置，涉及蚀刻设备技术领域。蚀刻线滚轮包括轮轴和若干轮片，若干轮片间隔设置在轮轴上，且相对于轮轴的中线对称分布；并且，从轮轴的中线至其两端方向上的各轮片的直径依次递减。蚀刻传送线包括所述的蚀刻线滚轮；沿输送方向上，若干蚀刻线滚轮水平平行间隔排布。蚀刻装置包括所述的蚀刻传送线，以及设置在所述的蚀刻传送线上侧的上侧喷淋装置，和/或设置在所述的蚀刻传送线下侧的下侧喷淋装置。本发明通过改进蚀刻线滚轮的结构，使得蚀刻传送线的输送面呈凸面，进而使得在线传输时金属掩膜版中间高于其两侧，药液直接向低两侧处流走，不会聚集，彻底避免了“水池效应”的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 滚轮 传送 装置 | ||
【主权项】：
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