[发明专利]一种可垂直型输送的集成电路生产线的光刻均胶机有效
| 申请号： | 202210082848.8 | 申请日： | 2022-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN114472089B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 许莉莉;李广洪 | 申请（专利权）人： | 永耀实业（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 重庆上义众和专利代理事务所(普通合伙) 50225 | 代理人： | 郭维 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及光刻均胶机技术领域，具体为一种可垂直型输送的集成电路生产线的光刻均胶机，包括控制台、台板、给胶机构和控片机构，控制台上方连接有台板,台板的上方连接有给胶机构和控片机构，控片机构包括主L型板、中控架、辅控架、半罩体和吸附座，主L型板固定在台板上，主L型板的一侧连接有中控架,本发明构造设计实现了垂直不接触胶面的管控硅片效果，硅片上胶工作结束后，只需要对立轴提供升降驱动力，即可实现硅片的稳定提取工作，且过程汇总两个L型托杆拖住接触硅片的底部，实现硅片的安全上升工作，只需要对控片机构提供单一的升降控制，即可实现控片机构内部的多形态变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 垂直 输送 集成电路 生产线 光刻 均胶机 | ||
【主权项】：
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