[发明专利]成膜装置在审
| 申请号： | 202210083022.3 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114790538A | 公开（公告）日： | 2022-07-26 |
| 发明（设计）人： | 谷和宪;福井雄贵 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/54;C23C14/56;C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 史雁鸣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在一边输送基板和掩模一边进行成膜的串联型的成膜装置中尽可能地抑制被对准了的基板与掩模的位置偏离的技术。本发明使用如下的成膜装置，所述成膜装置配备有：保持并输送基板的基板载置器、具有基板载置器的夹紧部的载置器保持机构、掩模保持机构、进行基板载置器与掩模的相对位置调整的对准机构、在与基板相交的交叉方向上使基板载置器移动的移动机构、成膜机构，在夹紧部夹紧基板载置器且基板载置器的整体与掩模分离开的状态下，对准机构进行相对位置调整，在相对位置调整之后，在基板载置器被夹紧的状态下，移动机构使基板载置器与掩模接触，在基板载置器与掩模接触之后，夹紧部解除对基板载置器的夹紧。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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